草酰氟
外观
草酰氟 | |||
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IUPAC名 Oxalyl difluoride | |||
别名 | 乙二酰氟 | ||
识别 | |||
CAS号 | 359-40-0 ![]() | ||
PubChem | 9668 | ||
ChemSpider | 9287 | ||
SMILES |
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InChI |
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EINECS | 206-630-4 | ||
性质 | |||
化学式 | C2F2O2 | ||
摩尔质量 | 94.017 g·mol⁻¹ | ||
熔点 | -3 °C(270 K) | ||
沸点 | 26.6 °C(300 K) | ||
若非注明,所有数据均出自标准状态(25 ℃,100 kPa)下。 |
草酰氟是草酸的氟代衍生物,为平面分子[1]。它在刻蚀有着潜在应用,以替代有全球暖化潛勢的化合物使用。[2][3]
参见
[编辑]参考文献
[编辑]- ^ 王冬梅, 耿志远. 草酰氟分子(FCO)2的量子化学研究[J]. 宝鸡文理学院学报(自科版), 2007, 27(1):49-53.
- ^ Method of etching and cleaning using fluorinated carbonyl compounds (页面存档备份,存于互联网档案馆), US Patent 6635185.
- ^ Simon Karecki; Ritwik Chatterjee; Laura Pruette; Rafael Reif; Terry Sparks; Laurie Beu; Victor Vartanian & Konstantin Novoselovc. Evaluation of Oxalyl Fluoride for a Dielectric Etch Application in an Inductively Coupled Plasma Etch Tool. J. Electrochem. Soc. 2001, 148 (3): G141–G149. doi:10.1149/1.1348263.
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