离子注入
外观
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“离子注入”的各地常用名称 | |
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中国大陆 | 离子注入 |
台湾 | 离子布植[1]、离子植入[2] |
港澳 | 离子注入[3] |
![](http://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/2/28/Ion_implantation_machine_at_LAAS_0521.jpg/150px-Ion_implantation_machine_at_LAAS_0521.jpg)
离子注入是一种将特定离子在电场里加速,然后嵌入到另一固体材料之中的技术手段。使用这个技术可以改变固体材料的物理化学性质,现在已经广泛应用于半导体器件制造和某些材料科学研究。离子注入可以导致核嬗变,或改变某些固体材料的晶体结构。
参见
[编辑]- 西泽润一——离子注入法的发明人
参考文献
[编辑]外部链接
[编辑]- 李佳翰. 離子植入. 科技网. 2015-05-07 [2023-12-25]. (原始内容存档于2023-12-26) (中文).
- 第八章 離子佈植 (PDF). 国立台湾大学化学工程学系能源材料实验室. [2023-12-25]. (原始内容 (PDF)存档于2016-05-27) (中文(台湾)).
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